イオンビームを用いた窒化炭素膜の作製 (特集〔平成11年度〕若手セミナー『放電分野における最近の技術開発』) -- (一般講演)

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概要

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• 放電学会の論文

著者

• 小野寺 朋和

  武蔵工業大学

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