パルス変調プラズマによる負イオンの生成と高精度エッチング

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概要

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アイオニクス | 論文

• 粒子線誘起X線分析法(PIXE)及びラザフォード後方散乱法(RBS)による燃料電池電極触媒中のRuの分析
• 真空蒸着法を用いた有機薄膜太陽電池の作製
• レーザー結合ECRプラズマを用いた微量元素分析装置の開発
• レーザー結合ECRプラズマを用いた高輝度金属イオン源の開発
• 高エネルギーマイクロビームによる水素分析法の開発--地球科学への応用

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