金属-シリコン溶液を用いたシリコン薄膜の横方向成長

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概要

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• 東京大学工学部総合試験所の論文

著者

• 温 慶茹

  東京大学大学院工学系研究科 化学システム工学専攻

• 温 慶茄

  東京大学大学院工学系研究科化学システム工学専攻

• 大友 順一郎

  東大 大学院工学系研究科

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