半導体製造装置用玉軸受の諸特性
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- 高真空雰囲気におけるふっ素系潤滑油(PFPE)の摩擦摩耗及び放出ガスの分解劣化特性
- 真空雰囲気におけるふっ素系潤滑油・グリ-スの摩擦摩耗特性-2-ふっ素系潤滑油のアウトガス特性
- 真空雰囲気におけるふっ素系潤滑油・グリ-スの摩擦摩耗特性-1-
- クリーン環境のトライボロジー(第2報)-ダイヤモンドライクカーボン膜形成による発塵低減効果-
- クリーン環境のトライボロジー(第1報)-炭化ケイ素系セラミックス材料からの発塵特性-
- 半導体製造装置用玉軸受の諸特性