New Magnetic Circuits for Planar Magnetron Sputtering

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概要

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• 三菱製鋼の論文

著者

• 福田 方勝

  (株)三菱製鋼

• 佐藤 均

  三菱製鋼(株)商品開発部

• 福田 方勝

  三菱製鋼(株)技術管理部

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