14GHz ECR多価イオン源「Hyper ECR」の設計 (材料<特集>)

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概要

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• 日本製鋼所の論文

著者

• 山下 靖夫

  (株)日本製鋼所

関連論文

• 28p-L-10 HiECRイオン源開発研究(III)
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• 14GHzECR多価イオン源"HyperECR"の開発
• 14GHz ECR多価イオン源「Hyper ECR」の設計 (材料)

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