SnO2タ-ゲットを用いた反応性スパッタリングによる新しい酸素選択透過膜 (表面・界面の機能化(論文特集))

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概要

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• 日本化学会の論文

著者

• 高村 勉

  東芝リサーチ・コンサルティング株式会社

• 鈴木 信和

  東芝 総研

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