クラスター成長領域の時空間局所閉じ込めに成功--機能性クラスタープロセス技術の新展開

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概要

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• 工業技術院電子技術総合研究所の論文

著者

• 木山 学

  電総研

• 韓 民

  南京大学

• 福田 昭

  産総研

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