イオンビ-ム合成法によるSiGe/Si,SiGeC/Siの作成とその表面バンドエンジニアリングの可能性 (表面エレクトロニクスに関する調査報告) -- (表面改質と微細加工)

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概要

電子技術総合研究所 | 論文

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