高周波浮遊帯溶融法による遷移金属炭化物(ZrC,VC,NbC,TaC),窒化物(NbN),ニホウ化物(VB2,NbB2,TaB2)単結晶の作成 (結晶成長技術特集)
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概要
電子技術総合研究所 | 論文
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