電子ビ-ム描画装置の現状--JBX-6A2を中心に (超微細加工技術とエレクトロニクス--機能の高集積化・高性能化の事例と話題の技術<特集>) -- (話題の超微細加工技術と可能性)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 日刊工業新聞社の論文

著者

• 後藤 信男

  日本電子

関連論文

• 電子ビームによる高密度記録
• 1)電子ビーム高密度記録(第4回 光・フィルム技術研究会)
• 電子ビ-ム描画装置の現状--JBX-6A2を中心に (超微細加工技術とエレクトロニクス--機能の高集積化・高性能化の事例と話題の技術) -- (話題の超微細加工技術と可能性)

スポンサーリンク