VHF帯のホイッスラ-波による大直径プラズマ源の開発

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 電気学会の論文

著者

• 伊藤 彰浩

  中部大・工

関連論文

• 25p-E-1 ダブルプラズマ装置による2電子温度プラズマの温度比制御
• 13p-DG-5 EBEP装置の放電特性
• VHF帯のホイッスラ-波による大直径プラズマ源の開発

スポンサーリンク