反応性同時スパッタ法によるPZT膜の形成
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- 19aB06 垂直ブリッジマン法によるランガテイト単結晶の育成と電気的特性の評価(機能性結晶(2),第35回結晶成長国内会議)
- 26aD02 垂直ブリッジマン法による還元雰囲気下でのランガサイト単結晶の育成(機能性結晶(1),第34回結晶成長国内会議)
- 平板マグネトロンスパッタの動作に及ぼす磁界の影響
- 反応性同時スパッタ法によるPZT膜の形成
- 3A13 Ni をドープした (Ba, Sr)TiO_3セラミックスの超低周波誘電特性
- スパッタリング
- 第3磁極を有するマグネトロンスパッタ装置の動作と薄膜組成制御への応用
- 高周波スパッタリングによる化学量論的KTa1-xNbxO3膜の作製