反応性プラズマにおけるラジカル輸送 (制御されたプロセス用プラズマを目指して--その現状と将来展望<特集>)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 電気学会の論文

著者

• 橘 邦英

  愛媛大学大学院理工学研究科プラズマ・光科学研究推進室

関連論文

• 大気圧マイクロプラズマプロセス : 局所・大面積プロセスに向けた各種マイクロプラズマ源とその応用
• 反応性プラズマにおけるラジカル輸送 (制御されたプロセス用プラズマを目指して--その現状と将来展望)

スポンサーリンク