放電・切削共用多目的微細加工装置の開発

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概要

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• 東京大学生産技術研究所試作工場 機械設計工学,東京大学生産技術研究所第2部 精密加工学,東京大学生産技術研究所第2部 微細加工学,東京大学生産技術研究所試作工場 機械設計学の論文

著者

• 岡本 伸英

  東京大学生産技術研究所

• 古屋 七郎

  東京大学生産技術研究所試作工場(元)

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