大型磁気浮上タ-ボ分子ポンプの取付方向自在性の実現 (第30回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)

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概要

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• 日本真空協会の論文

著者

• 白石 成之

  三菱重工業株式会社本社

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