直動機構に用いられるリニア型超音波アクチュエ-タ (特集 事例にみる最新精密小型モ-タ技術)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 工業調査会の論文

著者

• 権田 常躬

  ニコン

関連論文

• 直動機構に用いられるリニア型超音波アクチュエ-タ (特集 事例にみる最新精密小型モ-タ技術)

スポンサーリンク