半導体素子用微細加工プロセスにおける新しいドライ化技術 (新しい表面処理技術<特集>)
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概要
化学工業社 | 論文
- アルミ再生工程で生じる副産物や廃棄物を利用した陰イオン交換体の合成と排水処理への適用 (特集 循環共生社会と技術開発)
- STMにおける試料と探針からの電界蒸発 (走査プロ-ブ顕微鏡の最前線)
- マイクロカプセルからの物質放出制御--多分散性の効果 (特集 躍進するマイクロカプセルの最前線)
- 強磁場NMRの物性研究への応用 (特集 新しいNMRの可能性と応用技術)
- 心不全に対する遺伝子治療の開発と展望 (特集 先端治療システム開発の最前線)