磁気メディア用スパッタリングタ-ゲット材料 (電子材料・部品<特集>)

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概要

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• 神戸製鋼所の論文

著者

• 小川 陸郎

  神戸製鋼超電導低温技術センター

• 吉川 一男

  コベルコ科研

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