3E17 RF スパッタ法で作製した 2 価のサマリウムを含有するシリカ薄膜の蛍光特性に及ぼす熱処理の影響
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概要
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An improvement of fluorescent property of SiO_2 : Sm^<2+> thin films prepared by an rf magnetron sputtering method was investigated. Heat treatment at 1273K increased the Sm^<2+>/Sm^<3+> ratios and the intensity of the fluorescent spectrum due to Sm^<2+> ions, and also shifted the Sm concentration at a maximum fluorescent intensity to higher values.
- 1996-10-07
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