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30p-ZG-5 NBCO薄膜のスパッタ成膜条件の最適化
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概要
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1999-03-28
著者
毛利 存
八代高専
井上 貴志
鹿児島大工
横山 暢彦
鹿児島大工
木場 信一郎
八代高専
白楽 善則
鹿児島大工
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