30a-B-13 スーパーレンズにおけるSb膜厚と超解像特性

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概要

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• 1999-03-28

著者

• 富永 淳二

  融合研

• 佐藤 彰

  ミノルタ(株)

• 藤 寛

  シャープ(株)

• 中野 隆志

  融合研

• 阿刀田 伸史

  融合研

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