31a-ZQ-2 DCマグネトロンスパッタの放電維持圧力低圧化
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概要
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- 1999-03-28
著者
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和田 優一
アプライドマテリアルズジャパン(株)
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相田 恒
アプライドマテリアルズジャパン株式会社
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尹 基桓
アプライドマテリアルズジャパン株式会社
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斎藤 昭彦
アプライドマテリアルズジャパン株式会社
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高浜 宏行
アプライドマテリアルズジャパン株式会社