29p-P-11 静電破壊試験時のアルミ配線溶断現象の解析

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概要

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• 1995-03-28

著者

• 山本 佳司

  三洋電機(株) 半導体事業本部 MOS-LSI事業部

• 鶴 孝治

  三洋電機(株) 半導体事業本部 MOS-LSI事業部

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