29a-H-8 Coサリサイドを用いたSiパワーMOSFETの低電圧動作
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概要
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- 1997-03-28
著者
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大黒 達也
東芝マイクロエレクトロニクス研究所
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斎藤 雅伸
東芝マイクロエレクトロニクス研究所
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森藤 英治
東芝マイクロエレクトロニクス研究所
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村上 功治
東芝個別半導体事業部
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松崎 和博
東芝個別半導体事業部
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吉富 崇
東芝マイクロエレクトロニクス研究所
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森本 豊太
東芝マイクロエレクトロニクス研究所
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百瀬 寿代
東芝マイクロエレクトロニクス研究所
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勝又 康弘
東芝マイクロエレクトロニクス研究所
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岩井 洋
東芝マイクロエレクトロニクス研究所