30p-X-3 X線マスク作製用低応力CrNハードマスク

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 1997-03-28

著者

• 吉原 拓也

  NECマイクロエレクトロニクス研究所

• 坪井 伸二

  NECマイクロエレクトロニクス研究所

• 鈴木 克美

  NECマイクロエレクトロニクス研究所

• 小辻 節

  NECマイクロエレクトロニクス研究所

関連論文

• 30p-X-3 X線マスク作製用低応力CrNハードマスク
• 30p-X-2 X線マスクの位置歪の要因分析

スポンサーリンク