26a-ZV-4 CF_4/C_2H_4混合ガス系を用いた高選択SiO_2エッチングにおける排気速度の影響

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概要

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• 1996-03-26

著者

• 小島 章弘

  広島大学 工学部

• 長田 尚理

  広島大学 工学部

• 坂上 弘之

  広島大学 工学部

• 新宮原 正三

  広島大学 工学部

• 高萩 隆行

  広島大学 工学部

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