28p-PB-18 オゾン水と弗酸を用いた枚葉処理によるSiウエーハ表面粗さ改善

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概要

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• 1998-03-28

著者

• 平塚 八郎

  (株)芝浦製作所 開発部

• 黒川 禎明

  (株)芝浦製作所 開発部

• 松嶋 大輔

  (株)芝浦製作所 開発部

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