Ar+N_2雰囲気スパッタFe-Co-Ti合金薄膜の磁気特性

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概要

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• 1996-04-01

著者

• 佐藤 文隆

  東北大学工学研究科応用物理学専攻

• 佐藤 文隆

  東北大学工学部

• 宮ザキ 照宣

  東北大学工学部

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