The influence of post-etch InGaAs fin profile on electrical performance

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概要

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• Institute of Physicsの論文
• 2014-03-06

著者

• Ivanov Tsvetan

  IMEC vzw, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium.KULeuven, Kasteelpark Arenberg 10, 3001 Heverlee, Belgium.

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