触媒反応生成高エネルギーH2Oを用いて堆積したZnO エピタキシャル薄膜の電気伝導特性
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概要
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Pt触媒表面の水素、酸素の燃焼反応により生成した高エネルギーH2Oビームを用いてA面サファイア基板上にZnO結晶膜のエピタキシャル成長を行った。得られたZnO結晶膜の電気伝導特性及び，その温度特性を測定し，特性の起源を考察した。
- 公益社団法人 日本表面科学会の論文
公益社団法人 日本表面科学会 | 論文
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