Siパターニング基板上の微小球光導波路における光分波特性
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概要
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微小球を内部周回型の光共振器として連結させて作る光導波路は、数μmの曲率半径を持つ自在な光配線が実現できると期待される。我々は、パターニングを行ったシリコン基板を鋳型として用い、コロイド溶液中の自己組織化現象を利用して、30°や60°の分岐部を持つ微小球連鎖構造を作製した。その内部の光伝播特性をNSOMで観察したところ、伝播モードの違いにより光の分波現象が起きていることが明らかになった。
- 公益社団法人 日本表面科学会の論文
公益社団法人 日本表面科学会 | 論文
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