スパッタ法を用いたMg基透明導電膜の合成と特性評価
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
透明な導電性薄膜に関する研究は、Inを母相とする酸化物材料を中心に盛んに行われている。本研究は、ITOに替わる新規材料の探索的合成を主眼として行うものであり、RFマグネトロンスパッタ法を用いて、マグネシウムを母相とする透明導電性薄膜の合成を試みた。作製した薄膜について電気特性、光学特性ならびに微細構造について、４端子法、分光光度計ならびにXRD、EPMA、XPS、SEMなどを用いて評価を行った。
- 公益社団法人 日本表面科学会の論文
公益社団法人 日本表面科学会 | 論文
- An XPS Analysis of the Interfacial Interaction between Oxides and Epoxy Resin.
- A Structure Analysis of Langmuir-Blodgett Magnetic Films by X-ray Diffraction.
- Structure and Reactivity of Surface Compounds Formed on Single Crystal Metal Surfaces During Catalytic Reactions.
- Atomic-Layer Etching of Si by Low Energy Ion Irradiation.
- Microstructure Observations of (Nd, Ce)2CuO4 Superconducting Thin Films by Using Cross-Sectional HRTEM and the Mechanism f Film Growth.