温度可変４探針ＳＴＭ
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概要
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超高真空、極低温にて動作可能な４探針ＳＴＭ装置を開発している。超高真空SEMによる探針の位置合わせ後、STM観測により探針間の相互位置を確認することで、ナノスケール構造体への電圧・電流の印加・計測が可能である。特に、４つの探針は１つのＰＣから制御されるため、Ｉ-Ｖ測定などにおいては協調した動作が可能である。当日は、本装置の設計上の特徴及び、最新の測定データを示しつつ、今後の展開について議論を行う。
- 公益社団法人 日本表面科学会の論文
公益社団法人 日本表面科学会 | 論文
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