シリコン対向探針の破断のシミュレーション
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概要
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我々の開発したMEMSのシリコン対向探針を接近、引き離しさせる事により、シリコン接合の形成が見出されているが、接合の詳細な結晶構造は不明である。そこで、シリコン対向探針の破断における動力学を数値シミュレーションによって、解析する。先ず構造最適化の方法によって、断熱極限での力曲線と構造を計算する。次に各安定構造に有限温度の分子動力学を適用して破断の詳細を調べる。
- 公益社団法人 日本表面科学会の論文
公益社団法人 日本表面科学会 | 論文
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