大面積高密度金属イオンビーム源
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概要
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低エネルギーイオン注入を前処理とし、コーテイングや炭化・窒化処理などを主加工とする材料表面改質の工業化を目指して、その実用化の障害となっていたところの標記ような仕様の新型イオン源の研究開発を行った。本イオン源の特徴は、固体イオン化原料をEB（電子ビーム）GUNを用いて蒸発させる構成にある。また、前処理の効果として、新規多元系合金のコーテイング界面での剥離抵抗向上、傾斜機能性付与などが挙げられる。
- 公益社団法人 日本表面科学会の論文
公益社団法人 日本表面科学会 | 論文
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