マイクロ波プラズマCVDによるナノクリスタルダイヤモンド薄膜の作製とナノレベル微細加工
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概要
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ダイヤモンドの高性能半導体素子への応用を念頭に、ナノメートルオーダの微細加工に適用可能な、平坦性の高いナノクリスタルダイヤモンド薄膜を合成し、電子線リソグラフィー及び反応性イオンエッチング(RIE)技術を利用したナノ加工プロセスを確立した。
- 公益社団法人 日本表面科学会の論文
公益社団法人 日本表面科学会 | 論文
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