REM-RHEEDにおけるエネルギー損失分光:Ωフィルターによるエネルギーフィルタリング
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概要
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オメガフィルターを組み込んだ高分解能超高真空電子顕微鏡を開発し、反射高速電子回折(RHEED)、反射電子顕微鏡像(REM)、反射電子ホログラフィ(REH)のエネルギー選別を行った。大半の反射電子は表面プラズモン励起による非弾性散乱をうけており、その除去により、低バックグラウンドのRHEED、高コントラストのREM像(格子縞)、高干渉性のREHが得られた。一方、低エネルギー損失電子にも干渉性があることが見出された。
- 公益社団法人 日本表面科学会の論文
公益社団法人 日本表面科学会 | 論文
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