独立3自由度を有する自走式精密位置決め機構の制御手法の研究:顕微画像を用いたFF/FB制御の試み
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概要
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昨今では、携帯機器の小型化に伴う、電子部品の小型化が目覚しい。現在の実装装置では、稼動部が100kg以上あり、1mg以下のチップ部品の実装を行う際にも、大きな振動が発生する。本研究では、小型チップ部品を、低振動・低電力・低床面積で実装できる装置の開発を目標としている。本研究では、XYΘ小型自走機械をFF/FB制御することで、携帯電話のチップ間平均距離である1mmの高速位置決めを試みたので報告する。
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