新デバイス・材料の開発を支える微細加工技術
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概要
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次世代の産業や社会基盤の高度化にとって不可欠な新デバイスや新材料の開発に際して，微細加工技術はそれらを創るにあたって不可欠な基盤技術である．モノつくりの高度化を標榜する精密工学会では，デバイスや材料の高度化はそれらを構成する構造の微細化であるという視点から，より小さな構造をより効率的に安定して創る技術の研究開発を推進している．本発表では，この様な研究開発の具体例を引用しながらこの種の横断型基幹技術の性質や重要性を論ずる．
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横断型基幹科学技術研究団体連合（横幹連合） | 論文
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