半導体素子製作用電熱装置

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概要

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一般社団法人 電気学会 | 論文

• むだ時間を含む水温調節システムの高精度制御--駆動むだ時間補償制御における定常偏差除去法
• 装置工業におけるプラントワイド・システム--紙パルプ工場のミルワイド・システム (プラントワイドシステムと周辺技術)
• マニピュレ-タの運動制御 (メカトロニクス技術特集号)
• 誘導起電力による直線移動体の線速度計測
• 数理計画法を用いた均一磁界発生用マグネットの最適設計--電流の値と位置の最適化

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