原子拡散接合法を用いたウエハの室温接合とデバイス応用

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概要

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• 公益社団法人 精密工学会の論文

著者

• 島津 武仁

  東北大学学際科学フロンティア研究所

• 魚本 幸

  東北大学学際科学フロンティア研究所

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