量子井戸型InAsホール素子による高感度リニアハイブリッドホールIC

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概要

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• By electrically connecting and placing an InAs deep quantum well (DQW) Hall element as a magnetic sensor chip and a Si IC linear amplifier in a small plastic package, a very small sized InAs DQW linear hybrid Hall IC (InAs DQW LHHIC) with a high magnetic field sensitivity was developed. The output voltage of the hybrid Hall IC showed a very small temperature coefficient of 0.02%/°C and the response time was very small at less than 3µsec. By using this InAs DQW LHHIC, practical current sensors having high sensitivity, high accuracy, and temperature stability were developed.

• 電気学会の論文

著者

• 深澤 尚也

  旭化成エレクトロニクス

• 牧野 崇史

  旭化成エレクトロニクス

• 鈴木 健治

  旭化成エレクトロニクス

• 柴﨑 一郎

  豊橋技術科学大学

• 栗山 憲冶

  旭化成エレクトロニクス（株）

• 牧野 崇史

  旭化成エレクトロニクス（株）

• 鈴木 健治

  旭化成エレクトロニクス（株）

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