導電性接着剤における電極間導電経路の3次元可視化

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概要

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樹脂中の導電フィラを介して導電・放熱が行われる導電性接着剤において，実装後の抵抗測定などの巨視的な研究や，フィラ間界面での抵抗評価といった微視的な研究は進みつつある。しかし，電極間でどのように導電が行われているかという両者の間に位置する研究はあまり進んでおらず，導電信頼性の検証がされていない。これは，通常の平面観察に対し，導電性接着剤内部の導電フィラ間では3次元的に導電経路を形成するため，これを正確に観察する手法が無かったことに起因する。今回，正確な研磨と観察を繰返すことで立体的観察を行うFIB-SEMの手法を用いることで従来観察ができなかった導電経路の可視化を行った。また，この結果を利用することにより，実機に極めて近いモデルでの導通解析が実施可能となったので，これを報告する。

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