Auメッキ層及び台形型ビームを用いたMEMS熱式マイクロ・アクチュエータの検討

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概要

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• Recently, the micro fluid systems have been extensively studied, where microactuators such as micro valves fabricated by MEMS technology are essential for realizing these systems. In this paper thermal microactuators of trapezoidal shape fabricated by SOI-MUMPs technology with and without Au electroplating layers have been studied for obtaining larger displacement.

著者

• 落合 邦行

  Chiba Institute of Technology

• 長田 貴裕

  LAUREL, LTD

• 室 英夫

  Chiba Institute of Technology

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