Electrochemical Formation of Porous Silicon with Medium-Sized Pores
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概要
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Medium-sized pores of which diameter was over 100 nm were successfully prepared by anodization in 3 wt% HF aqueous solution containing KMnO4 and surfactant. The presence of an appropriate oxidizing agent and a surfactant was indispensable for the formation of medium-sized pores, but the concentration dependence was not significant. Similar method was applied to the p+-type silicon and led to the pore widening.
- 公益社団法人 電気化学会の論文
著者
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Salem Mohamed
Institute Of Advanced Energy Kyoto University
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HARRAZ Farid
Central Metallurgical Research and Development Institute
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Ogata Yukio
Institute Of Advanced Energy Kyoto University
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尾形 幸夫
京都大学エネルギー理工学研究所
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Sakka Tetsuo
Institute Of Advanced Energy Kyoto University
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KOYAMA Akihiro
Institute of Advanced Energy, Kyoto University
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