平面基板における多層膜中性子ミラーの開発 (中性子科学を支える基盤技術「中性子源から測定装置まで」)
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概要
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Multilayer mirror is one of the most useful devices for slow neutron experiments. A multilayer with small d-spacing and supermirror with large-<I>m</I> is desirable to enlarge utilization efficiency for neutron scattering experiments. Recently we have installed an ion beam sputtering instrument to Research Reactor Institute, Kyoto University (KURRI). We have succeeded in fabricating <I>m</I>=6 NiC/Ti supermirrors using ion beam sputtering technique, and fabricated very small <I>d</I>-spacing multilayer which has maximum number of layers so far. In this report, we show the performance of these multilayers as neutron mirror and discuss its application.
- 日本中性子科学会の論文
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