ア-ク放電形高真空イオンプレ-ティングによる反応生成膜の作製(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 日本真空協会の論文

著者

• 川下 安司

  神港精機 (株)

• 中曽根 正美

  神港精機 (株)

• 寺山 暢之

  神港精機 (株)

• 野間 正男

  神港精機 (株)

関連論文

• アーク放電形高真空イオンプレーティングの膜厚分布 (I)
• イオンプレーティングの応用
• 高真空における蒸発粒子のイオン化
• アブストラクト
• ア-ク放電形高真空イオンプレ-ティングによる反応生成膜の作製(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)

スポンサーリンク