飛行時間型二次イオン質量分析法

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概要

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• 二次イオン質量分析法(SIMS)の分野で特にポリマー材料への応用が期待されている飛行時間型(Time of Flight) SIMS(TOF・SIMS)について原理,装置,分析能力,応用例について述べ,そのポテンシャルについて展望した.

• 社団法人 高分子学会の論文

著者

• 石谷 炯

  (株)東レリサーチセンター

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