全反射X線回折法による超薄膜の配向評価

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概要

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• 光学・電気的に高度な機能を有する有機超薄膜を作製する上で,薄膜分子の配向評価は重要である.ここではX線の基板に対する全反射現象を利用した有機超薄膜用の構造解析装置および蒸着薄膜における結晶構造および分子配向評価の原理を述べる.また,蒸着過程における結晶成長,熱処理過程における分子配向変化の動的観測例も紹介する.

著者

• 林 好一

  京都大学工学部

• 松重 和美

  京都大学工学部

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